Leírás a Technika
Energia Diszperzív X-Ray Spektroszkópia (EDS vagy EDX) egy kémiai mikroanalízis technika együtt használt pásztázó elektronmikroszkópos (SEM). (Lásd kézikönyv szakasz SEM.) Az EDS technika a mintából kibocsátott röntgensugarakat detektálja egy elektronsugárral történő bombázás során az elemzett térfogat elemi összetételének jellemzésére., Az 1 µm vagy annál kisebb jellemzők vagy fázisok elemezhetők.
amikor a mintát a SEM elektronsugara bombázza, az elektronokat a minta felületét tartalmazó atomokból bocsátják ki. Az így létrejövő elektronokat magasabb állapotú elektronok töltik meg, és röntgensugarat bocsátanak ki, hogy kiegyenlítsék a két elektron állapota közötti energiakülönbséget. A röntgenenergia jellemző az elemre, amelyből kibocsátották.
az EDS röntgen detektor méri a kibocsátott röntgensugarak relatív bőségét energiájukkal szemben., Az érzékelő jellemzően lítium-sodródott Szilícium, szilárdtest-eszköz. Amikor egy esemény röntgensugár ütközik az érzékelőbe, olyan töltési impulzust hoz létre, amely arányos a röntgen energiájával. A töltésimpulzust egy töltésérzékeny előerősítő alakítja át feszültségimpulzussá (amely arányos marad a röntgenenergiával). A jelet ezután egy többcsatornás analizátorra küldik, ahol az impulzusokat feszültség szerint rendezik. A feszültségmérésből meghatározott energiát minden egyes eseményröntgenhez elküldik egy számítógépnek, hogy megjelenítse és további adatértékelést végezzen., A röntgensugaras Energia versus count spektrumát úgy értékeljük, hogy meghatározzuk a mintavételezett térfogat elemi összetételét.
analitikai információk 
kvalitatív elemzés – az EDS spektrumból származó mintaröntgen-energia értékeket összehasonlítjuk az ismert jellemző röntgenenergia-értékekkel, hogy meghatározzuk egy elem jelenlétét a mintában. A berilliumtól az uránig terjedő atomszámú elemek detektálhatók. A minimális érzékelési határértékek az elemtől és a mintamátrixtól függően körülbelül 0,1-től néhány atom százalékig terjednek.,
kvantitatív elemzés-kvantitatív eredmények a relatív röntgensugarak számából nyerhetők a mintaösszetevők jellemző energiaszintjein. A félig kvantitatív eredmények szabványok nélkül, az elemzési paramétereken és a minta összetételén alapuló matematikai korrekciók segítségével könnyen elérhetők. A standard nélküli elemzés pontossága a minta összetételétől függ. Nagyobb pontosság érhető el az ismeretlen mintához hasonló szerkezetű és összetételű ismert szabványok alkalmazásával.,
elemi térképezés – a jellemző röntgenintenzitást a minta oldalirányú helyzetéhez viszonyítva mérik. A röntgensugár intenzitásának bármely jellemző energiaértéken történő változása jelzi az alkalmazandó elem relatív koncentrációját a felületen. Egy vagy több térképet egyidejűleg rögzítenek a kép fényerejének intenzitásával a jelen lévő elem(ek) helyi relatív koncentrációjának függvényében. Körülbelül 1 µm oldalirányú felbontás lehetséges.,
Vonalprofil-Elemzés – A SEM elektronsugarat egy előre kiválasztott vonal mentén szkenneljük a mintán, míg a röntgensugarakat a vonal mentén diszkrét pozíciókra detektáljuk. A röntgensugár-energia spektrum elemzése minden helyzetben a relatív elemi koncentráció parcelláit biztosítja minden egyes elemhez a vonal mentén., Tipikus Alkalmazások
- Idegen anyag elemzése
- Korrózió értékelést
- Bevonat összetétel elemzés
- Gyors anyag alufelni azonosító
- Kis alkatrész anyag elemzése
- Fázis azonosító, illetve engedély
Minta Követelmények
a Mintákat akár 8. (200 mm) átmérője könnyen elemezhető a SEM-ben. Nagyobb minták, körülbelül 12 ban ben. (300 mm) átmérőjű, korlátozott színpadi mozgással tölthető be. A minta maximális magassága körülbelül 2 ban ben. (50 mm) elhelyezhető., A mintáknak kompatibilisnek kell lenniük a mérsékelt vákuumos légkörrel is (2 Torr vagy annál kisebb nyomás).