Descrição da Técnica
de Energia Dispersiva de Raio-X Espectroscopia (EDS ou EDX) é um produto químico microanálise técnica utilizada em conjunto com a microscopia eletrônica de varredura (SEM). (See Handbook section on SEM.) The EDS technique detects x-rays emitted from the sample during bombard by an electron beam to characterize the elemental composition of the analyzed volume., Características ou fases tão pequenas como 1 µm ou menos podem ser analisadas.quando a amostra é bombardeada pelo feixe de elétrons do SEM, os elétrons são ejetados dos átomos que compõem a superfície da amostra. As vagas elétricas resultantes são preenchidas por elétrons de um estado mais elevado, e um raio-x é emitido para equilibrar a diferença de energia entre os estados dos dois elétrons. A energia de raios-x é característica do elemento a partir do qual foi emitida.
the EDS x-ray detector measures the relative abundance of emitted x-rays versus their energy., O detector é tipicamente um silício à deriva do lítio, um dispositivo de Estado Sólido. Quando um incidente de raio-x atinge o detector, ele cria um pulso de carga que é proporcional à energia do raio-X. O pulso de carga é convertido para um pulso de tensão (que permanece proporcional à energia de raio-x) por um pré-amplificador sensível à carga. O sinal é então enviado para um analisador multicanal onde os pulsos são ordenados por voltagem. A energia, determinada a partir da medição da tensão, para cada raio-x incidente é enviada para um computador para exibição e avaliação de dados adicionais., O espectro de energia de raios x versus contagens é avaliado para determinar a composição elementar do volume amostrado.
Analytical Information
Qualitative Analysis-the sample x-ray energy values from the EDS spectrum are compared with known characteristic x-ray energy values to determine the presence of an element in the sample. Elementos com números atômicos que variam de berílio a urânio podem ser detectados. Os limites mínimos de detecção variam de aproximadamente 0,1 a alguns átomos por cento, dependendo do elemento e da matriz da amostra.,
Quantitative Analysis – Quantitative results can be obtained from the relative x-ray Counties at the characteristic energy levels for the sample constituents. Os resultados semiquantitativos estão facilmente disponíveis sem normas, utilizando correções matemáticas baseadas nos parâmetros de análise e na composição da amostra. A precisão da análise sem padrão depende da composição da amostra. Obtém-se maior precisão utilizando padrões conhecidos com estrutura e composição semelhantes aos da amostra desconhecida.,
mapeamento elementar – a intensidade característica dos raios x é medida em relação à posição lateral na amostra. As variações da intensidade de raios x a qualquer valor energético característico indicam a concentração relativa do elemento aplicável em toda a superfície. Um ou mais mapas são gravados simultaneamente usando a intensidade de brilho da imagem como uma função da concentração relativa local do(s) elemento (s) Presente (s). É possível uma resolução lateral de cerca de 1 µm.,
Análise de perfil de linha-o feixe de elétrons SEM é digitalizado ao longo de uma linha pré-selecionada ao longo da amostra, enquanto os raios x são detectados para posições discretas ao longo da linha. A análise do espectro de energia de raios x em cada posição fornece gráficos da concentração elementar relativa para cada elemento versus posição ao longo da linha.,
aplicações típicas
- Análise de materiais estranhos
Avaliação da corrosão
Análise da composição do revestimento
identificação rápida de ligas de materiais
Análise de materiais de pequenos componentes
identificação e distribuição de fase
Requisitos de amostras
amostras até 8 pontos. (200 mm) em diâmetro pode ser facilmente analisado no SEM. Amostras maiores, até aproximadamente 12 in. (300 mm) de diâmetro, pode ser carregado com movimento de estágio limitado. Altura máxima da amostra de aproximadamente 2 in. (50 mm) pode ser acomodado., As amostras devem também ser compatíveis com uma atmosfera de vácuo moderada (pressões iguais ou inferiores a 2 torresmos).