Descrierea Tehnica
Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS sau EDX) este un produs chimic de microanaliză tehnică utilizată în combinație cu microscopia electronică de baleiaj (SEM). (A se vedea secțiunea Manual privind SEM.) Tehnica EDS detectează razele x emise din probă în timpul bombardării de către un fascicul de electroni pentru a caracteriza compoziția elementară a volumului analizat., Caracteristici sau faze la fel de mici ca 1 µm sau mai puțin pot fi analizate.
când proba este bombardată de fasciculul de electroni al SEM, electronii sunt evacuați din atomii care cuprind suprafața probei. Posturile vacante de electroni rezultate sunt ocupate de electroni dintr-o stare mai înaltă și o radiografie este emisă pentru a echilibra diferența de energie dintre stările celor doi electroni. Energia cu raze x este caracteristică elementului din care a fost emisă.detectorul de raze X EDS măsoară abundența relativă a razelor X emise față de energia lor., Detectorul este de obicei un siliciu plutit în derivă litiu, dispozitiv solid-state. Când o radiografie incidentă lovește detectorul, creează un impuls de încărcare proporțional cu energia radiografiei. Impulsul de încărcare este transformat într-un impuls de tensiune (care rămâne proporțional cu energia razelor x) printr-un preamplificator sensibil la sarcină. Semnalul este apoi trimis la un analizor multicanal unde impulsurile sunt sortate după tensiune. Energia, așa cum este determinată de măsurarea tensiunii, pentru fiecare raze X incidente este trimisă la un computer pentru afișare și evaluare suplimentară a datelor., Spectrul energiei cu raze x comparativ cu numărul este evaluat pentru a determina compoziția elementară a volumului eșantionat.
Informații Analitice
Analiză Calitativă – eșantion x-ray valorile energiei de la EDS spectru sunt comparate cu cunoscut caracteristic de raze x de energie valori pentru a determina prezența unui element în eșantion. Pot fi detectate elemente cu numere atomice variind de la beriliu la uraniu. Limitele minime de detecție variază de la aproximativ 0,1 la câteva procente atomice, în funcție de element și matricea eșantionului.,
analiza cantitativă-rezultatele cantitative pot fi obținute din numărul relativ de raze x la nivelurile de energie caracteristice pentru constituenții eșantionului. Rezultatele Semi-cantitative sunt ușor disponibile fără standarde prin utilizarea corecțiilor matematice bazate pe parametrii de analiză și compoziția eșantionului. Precizia analizei standardless depinde de compoziția eșantionului. O mai mare precizie este obținută folosind standarde cunoscute cu structură și compoziție similare cu cea a eșantionului necunoscut.,
cartografierea elementară – intensitatea caracteristică a razelor x este măsurată în raport cu poziția laterală pe eșantion. Variațiile intensității razelor x la orice valoare energetică caracteristică indică concentrația relativă pentru elementul aplicabil de-a lungul suprafeței. Una sau mai multe hărți sunt înregistrate simultan utilizând intensitatea luminozității imaginii în funcție de concentrația relativă locală a elementului(elementelor) prezent (e). Este posibilă o rezoluție laterală de aproximativ 1 µm.,analiza profilului liniei-fasciculul de electroni SEM este scanat de-a lungul unei linii preselectate de-a lungul probei, în timp ce razele x sunt detectate pentru poziții discrete de-a lungul liniei. Analiza spectrului energetic cu raze x la fiecare poziție oferă parcele ale concentrației elementare relative pentru fiecare element față de poziția de-a lungul liniei.,
Aplicații tipice
- analiza materialelor străine
- evaluarea coroziunii
- analiza compoziției acoperirii
- identificarea rapidă a aliajului materialului
- analiza materialelor componente mici
- identificarea fazei și distribuția
cerințe de probă
probe până la 8 in. (200 mm) în diametru pot fi ușor analizate în SEM. Probe mai mari, până la aproximativ 12 in. (300 mm) în diametru, pot fi încărcate cu mișcare etapă limitată. O înălțime maximă a eșantionului de aproximativ 2 in. (50 mm) pot fi cazate., Probele trebuie, de asemenea, să fie compatibile cu o atmosferă moderată de vid (presiuni de 2 Torr sau mai puțin).